| 基于MOEMS的微型数字太阳敏感器 |
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| 引用本文： | 李杰,郑伦贵,王建中,陈星. 基于MOEMS的微型数字太阳敏感器[J]. 传感技术学报, 2017, 30(4). DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2017.04.006 |
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| 作者姓名： | 李杰 郑伦贵 王建中 陈星 |
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| 作者单位： | 1. 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,太原,030051;2. 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,太原 030051;清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京 100084;3. 中国航天科工集团第三研究院第三○四研究所,北京,100074 |
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| 基金项目： | 清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室开放基金项目 |
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| 摘 要： | 结合CMOS APS图像传感器与MEMS工艺的优势,研制了一种适用于微纳卫星的两轴数字太阳敏感器,在保证测量精度的同时,减小了系统的体积与功耗.其光学系统由CMOS APS图像传感器和MEMS工艺制作的孔阵列结构光学引入器组成,提高了敏感器的分辨率,扩大了有效视场的范围.利用太阳模拟器对数字太阳敏感器进行了测试标定,结果表明,在120°圆锥全视场范围以内,1σ精度优于0.035°.
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| 关 键 词： | 数字太阳敏感器 CMOSAPS图像传感器 光线引入器 |
Micro-digital sun sensor based on MOEMS |
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| LI Jie,ZHENG Lungui,CHEN Xing,WANG Jianzhong. Micro-digital sun sensor based on MOEMS[J]. Journal of Transduction Technology, 2017, 30(4). DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2017.04.006 |
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| Authors: | LI Jie ZHENG Lungui CHEN Xing WANG Jianzhong |
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| Abstract: | Combining the advantage of CMOS APS image sensor and MEMS technology,a kind of digital solar sensorused in micro-nano satellites is developed.The measurement accuracy is satisfied,meanwhile the volume and power consumption of the system is reduced.The optical systemconsists of CMOS APS image sensor and a MEMS based optical introducer with a hole array structure,which improves the resolution of the sensor and enlarges the effective field of view.The calibration of the gigital sun sensor is done using a solar simulator,the test results show that the accuracy(1σ)is better than 0.035° in a full field of coneview of 120°. |
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| Keywords: | gigital sun sensor CMOS APS image sensor optical introduce |
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