|
|||||
|
|
| MBE及光MOCVD方法制作超晶格光传感器 | |
| 引用本文： | 章伟,王晓茹.MBE及光MOCVD方法制作超晶格光传感器[J].半导体光电,1988(2). |
| 作者姓名： | 章伟 王晓茹 |
| 作者单位： | 合肥工业大学物理系 (章伟)，安徽省电子所(王晓茹) |
| 摘 要： | 高速、高灵敏度的光传感器只能借助于超晶格异质结方法。制作超晶格靠常规的方法是不行的,它只能借助于MBE、光MOCVD方法才能完成。本文详细论述MBE、光MOCVD的原理、过程及测试,并给出在一些光传感器中的应用。 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |