| 分子沉积膜的制备与应用 |
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| 引用本文： | 王德国,冯大鹏,兰惠清,张嗣伟. 分子沉积膜的制备与应用[J]. 机械工程材料, 2003, 27(3): 1-3,7 |
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| 作者姓名： | 王德国 冯大鹏 兰惠清 张嗣伟 |
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| 作者单位： | 石油大学机电工程学院,北京,102200;石油大学机电工程学院,北京,102200;石油大学机电工程学院,北京,102200;石油大学机电工程学院,北京,102200 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目 ( 5 0 175 0 76) |
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| 摘 要： | 随着微型机械、高密度磁记录技术的发展，其器件的润滑及磨损成为制约其发展的一个关键问题。纳米复合薄膜有望解决这一问题。对化学法制备纳米复合薄膜的方法进行了综述，重点对分子沉积膜的发展及应用进行了概述，提出了分子沉积膜今后的发展趋势。
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| 关 键 词： | 纳米薄膜 自组装 分子沉积膜 |
| 文章编号： | 1000-3738(2003)03-0001-03 |
The Preparation and Application of Molecular Deposition Films |
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| WANG De guo,FENG Da peng,LAN Hui qing,ZHANG Si wei. The Preparation and Application of Molecular Deposition Films[J]. Materials For Mechanical Engineering, 2003, 27(3): 1-3,7 |
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| Authors: | WANG De guo FENG Da peng LAN Hui qing ZHANG Si wei |
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| Abstract: | The adhesion and wear in microelectro mechanical systems (MEMS) and high density magnetic recorder is a special problem. How to reduce them is a key technology in that field. Ultrathin film is a good method for solving the problem. This article reviews the chemical preparation method of ultrathin film. The application and preparation of molecular deposition film are also discussed. |
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| Keywords: | nanofilm self assembly molecular deposition film |
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