| 超声喷雾热分解法制备p型氧化锌多晶薄膜 |
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| 引用本文： | 郑春蕊. 超声喷雾热分解法制备p型氧化锌多晶薄膜[J]. 无机盐工业, 2011, 43(4) |
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| 作者姓名： | 郑春蕊 |
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| 作者单位： | 石家庄经济学院材料科学与工程研究所,河北石家庄,050031;北京理工大学材料科学与工程学院 |
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| 基金项目： | 河北省科技厅科学技术研究与发展指导计划项目，河北省教育厅科学研究计划项目，石家庄经济学院校内项目 |
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| 摘 要： | 采用超声喷雾热分解法在玻璃衬底上以醋酸锌水溶液[Zn(CH3COO)2·2H2O]、醋酸铵(CH3COONH4)和硝酸铝[Al(NO3)3·9H2O]的混合溶液为前驱体生成了N-Al共掺P型氧化锌薄膜.考察了前驱体溶液浓度、载气流速、热解温度对实验结果的影响.用XRD和SEM测试手段对薄膜进行了晶体结构和表面形貌的表征,结果表明所制备的薄膜为六角纤锌矿结构的氧化锌薄膜,表面均匀,结构致密,具有强烈的呈c轴垂直于衬底的(002)择优取向.对薄膜进行了电学测试和光致发光性能测试,结果表明制备的薄膜为P型氧化锌薄膜,薄膜的光致发光明显具有氧化锌薄膜的特点.
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| 关 键 词： | ZnO p型传导 喷雾热分解 N-Al共掺 光致发光 |
Preparation of p-type polycrystalline ZnO thin films by ultrasonic spray pyrolysis method |
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| Zheng Chunrui. Preparation of p-type polycrystalline ZnO thin films by ultrasonic spray pyrolysis method[J]. Inorganic Chemicals Industry, 2011, 43(4) |
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| Authors: | Zheng Chunrui |
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