| 基于Ba_xSr_(1-x)TiO_3薄膜电容的L波段可调滤波器 |
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| 引用本文： | 刘浪,谭宇,秦超,王文君,姚宗影,陈宏伟,张继华,杨传仁.基于Ba_xSr_(1-x)TiO_3薄膜电容的L波段可调滤波器[J].压电与声光,2017,39(1):52-55. |
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| 作者姓名： | 刘浪 谭宇 秦超 王文君 姚宗影 陈宏伟 张继华 杨传仁 |
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| 作者单位： | （电子科技大学 电子薄膜与集成器件国家重点实验室, 四川 成都 610054） |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(51172035) |
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| 摘 要： | 在蓝宝石基片上使用Ba_xSr_(1-x)TiO_3(BST)铁电薄膜电容作为可调元件制作出一种五阶梳状线可调带通滤波器。通过对BST平行板电容的材料特性(介电常数、损耗和可调率)的提取,其中40 V偏压下的可调率为43.1%,将这些特性运用于可调滤波器的制作。初步的实验结果分析表明,在20V直流偏置电压作用下,滤波器的中心频率从1.19GHz变化到1.31GHz(可调率为10.1%),带内插入损耗为13.5~13.7dB,回波损耗低于12dB。
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| 关 键 词： | BaxSr1-xTiO3(BST)薄膜 可调滤波器 可调率 平行板电容 铁电薄膜 |
L Band Tunable Filter Based on BaxSr1-xTiO3Thin Film Varactors |
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| LIU Lang,TAN Yu,QIN Chao,WANG Wenjun,YAO Zhongying,CHEN Hongwei,ZHANG Jihu,YANG Chuanren.L Band Tunable Filter Based on BaxSr1-xTiO3Thin Film Varactors[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2017,39(1):52-55. |
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| Authors: | LIU Lang TAN Yu QIN Chao WANG Wenjun YAO Zhongying CHEN Hongwei ZHANG Jihu YANG Chuanren |
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| Affiliation: | (State Key Lab. of Electronic Thin Films and Integrated Devices, University of Electronic Science and Technology of China, Chengdu 610054, China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | BaxSr1-xTiO3(BST) thin film tunable filter tunability MIM capacitors ferroelectric thin films |
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