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| 微系统技术及其应用 | |
| 引用本文： | 张光照.微系统技术及其应用[J].世界电子元器件,1997(8):70-72. |
| 作者姓名： | 张光照 |
| 作者单位： | 东北传感技术研究所 |
| 摘 要： | 在过去几年里,微系统技术取得了长足发展,主要有两个原因:第一是市场需求对微系统技术发展产生的巨大推动力,第二是微电子微机械加工技术的发展为微系统技术奠定了有力基础。 微系统属于高新技术,它采用不同于传统机械加工的全新工艺,它的出现将在工业界引起深刻的变化。发达国家如美、日、德均投入巨资发展微系统技 |
| 关 键 词： | 微系统技术 微电子 微机械加工 |
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