| 单晶硅纳米梁的分子动力学模拟 |
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| 引用本文： | 曹共柏,焦继伟,陈云飞,李铁,杨恒,王跃林.单晶硅纳米梁的分子动力学模拟[J].传感技术学报,2006,19(5):1686-1688. |
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| 作者姓名： | 曹共柏 焦继伟 陈云飞 李铁 杨恒 王跃林 |
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| 作者单位： | 1. 中科院上海微系统与信息技术研究所,传感技术联合国家重点实验室,200050
2. 东南大学机械工程学院教育部MEMS重点实验室,南京,210096 |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划(973计划) |
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| 摘 要： | 采用经典的分子动力学方法,分析了两端固支的纳米梁的力学行为特征.在初始应变下,梁的表面原子发生了重构,而初始应变能仅是重构能的1%,随着分子动力学迭代的开始,初始应变能逐渐转化为梁中原子的热运动动能和梁的谐振能量.从其能量的变化曲线得到,梁的谐振频率为2.32×1010Hz.与连续介质近似结果对比发现,该谐振频率对应的杨氏模量为101 GPa,小于体硅的131 GPa,说明在该尺度下杨氏模量小于体材料.另外,分子动力学结果显示,发热是纳米梁耗散机制的重要方式,即谐振能量转化为梁中原子的热运动动能.
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| 关 键 词： | 分子动力学 有限元 连续介质近似 谐振频率 |
| 文章编号： | 1004-1699(2006)05-1686-03 |
| 修稿时间： | 2006年7月1日 |
Simulation of Single Crystal Nano-Beam by Molecular Dynamic Method |
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| Cao Gongbai,Jiao Jiwei,Chen Yunfei,Li Tie,Yang Heng,Wang Yuelin.Simulation of Single Crystal Nano-Beam by Molecular Dynamic Method[J].Journal of Transduction Technology,2006,19(5):1686-1688. |
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| Authors: | Cao Gongbai Jiao Jiwei Chen Yunfei Li Tie Yang Heng Wang Yuelin |
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| Affiliation: | Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology, State Key Laboratories of Transducer Technology 2School of Mechanical Engineering, MEMS Key Laboratory of China Educational Ministry, Southeast University |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Molecular dynamic method finite element method continuum approximation harmonic frequency |
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