| TiO2基氧化物半导体氧敏传感器的研究开发进展 |
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| 引用本文： | 潘海波,陈耐生,林德娟,沈水发,黄金陵.TiO2基氧化物半导体氧敏传感器的研究开发进展[J].功能材料与器件学报,2001,7(1):101-106. |
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| 作者姓名： | 潘海波 陈耐生 林德娟 沈水发 黄金陵 |
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| 作者单位： | 福州大学功能材料研究所, |
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| 摘 要： | 综合介绍TiO2基氧化物半导体氧敏传感器的研究发展历史和TiO2材料的特性，比较了各种氧敏机理、制备方法、传感器的氧敏特性，就制备方法－材料微观结构－氧敏性能关系中的几个重要问题，进行了深入的探讨，并对今后的研究开发与产业化，结合本课题组的研究工作，提出了几点建议。
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| 关 键 词： | TiO2基氧化物 金红石相 氧敏传感器 半导体器件 |
| 文章编号： | 1007－4252(2001)01－0101－06 |
| 修稿时间： | 2000年3月2日 |
Development and application of TiO2 oxygen gas sensor |
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| PAN Hai-bo,CHEN Nai-sheng,LIN De-juan,SHEN Shui-Fa,HUANG Jin-ling.Development and application of TiO2 oxygen gas sensor[J].Journal of Functional Materials and Devices,2001,7(1):101-106. |
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| Authors: | PAN Hai-bo CHEN Nai-sheng LIN De-juan SHEN Shui-Fa HUANG Jin-ling |
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| Abstract: | Metal－ion doped TiO2 oxygen gas sensors are introduced briefly, particularly on the history of development and application, and characteristics of metal－ion doped TiO2.The several problems are focussed on the series of oxygen－sensing mechanism, preparation methods and properties of sensors.In this paper, the relationship between synthesis, microstructure and oxygen－sensing characteristics is discussed.And based on it, some suggestions on the further research and development of metal－ion doped TiO2 oxygen gas sensors are proposed. |
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