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| 扫描电镜电压衬度像方法在失效分析中的应用 | |
| 引用本文： | 王全,胡斌,孙静,胡会能. 扫描电镜电压衬度像方法在失效分析中的应用[J]. 材料工程, 2003, 0(Z1): 328-329 |
| 作者姓名： | 王全 胡斌 孙静 胡会能 |
| 作者单位： | 航天材料及工艺研究所,北京,100076 |
| 摘 要： | 阐述了利用扫描电子显微镜获取电压衬度像的机理,并对样品充电现象进行了解释.通过引用两例失效分析案例,描述了利用样品的充电现象确定元器件内部开路位置的方法. |
| 关 键 词： | 电压衬度像 充电现象 开路 |
| 文章编号： | 1001-4381(2003)suppl-0328-02 |
| 修稿时间： | 2002-11-20 |
The Application of Voltage Contrast Image of the SEM in Failure Analysis |
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