| 微波等离子体低温制备金刚石薄膜 |
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| 引用本文： | 曹传宝 彭定坤. 微波等离子体低温制备金刚石薄膜[J]. 功能材料, 1994, 25(6): 570-572,560 |
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| 作者姓名： | 曹传宝 彭定坤 |
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| 作者单位： | 复旦大学电子工程系，中国科技大学材料科学与工程系 |
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| 摘 要： | 用微波等离子体法在低于６００℃的条件下合成了金刚石薄膜，分别用Ｒａｍａｎ光谱、ＸＲＤ、ＸＰＳ，红外光谱对薄膜进行了表征；讨论了工艺条件同薄膜结构，特别是表面形貌的关系，指出低温有利于（１００）面的形成。
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| 关 键 词： | 金刚石薄膜 微波等离子体 化学汽相 淀积制备 |
Low Temperature Preparation Diamond Thin Films by Microwave Plasma CVD Process |
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| Cao Chuanbao, Peng Dingkun, Meng Guangyao. Low Temperature Preparation Diamond Thin Films by Microwave Plasma CVD Process[J]. Journal of Functional Materials, 1994, 25(6): 570-572,560 |
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| Authors: | Cao Chuanbao Peng Dingkun Meng Guangyao |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Diamond Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition |
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