| 化学修饰法制备的ZrO2-SiO2系凝胶薄膜的感光特性研究 |
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| 引用本文： | 赵桂荣,赵高扬. 化学修饰法制备的ZrO2-SiO2系凝胶薄膜的感光特性研究[J]. 功能材料, 2002, 33(2): 207-208,211 |
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| 作者姓名： | 赵桂荣 赵高扬 |
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| 作者单位： | 西安理工大学材料科学与工程学院,陕西,西安,710048 |
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| 基金项目： | 陕西省教育厅重点科技项目(99JK169);国家人事部、教育部留学回国人员科研启动基金资助项目 |
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| 摘 要： | 本研究采用溶胶-凝胶与化学修饰相结合的方法制备了xZrO2@(100-x)SiO2系薄膜,进一步研究了这种薄膜的紫外光谱特性,发现了当x＞30时,这种凝胶薄膜在335nm附近有较强的吸收峰,这一吸收峰对应于与Zr形成配位体的BzAcH的π-π*迁移.当紫外光照射薄膜后,随着含Zr螯合物的分解,吸收峰也消失,并引起薄膜在有机溶剂中的溶解特性的显著变化,表现出明显的感光特性.这种薄膜经400℃、30min热处理以后,薄膜中的有机物消失,可获得非晶质的ZrO2-SiO2系薄膜,依据这一特性可以用紫外光对这类薄膜进行微细加工.
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| 关 键 词： | 熔胶－凝胶法 化学修饰 微细加工 吸光度 氧化锆－氧化硅薄膜 |
| 文章编号： | 1001-9731(2002)02-0207-02 |
Formation of photosensitive ZrO2-SiO2 gel films by chemical modification method |
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| ZHAO Gui rong,ZHAO Gao yang. Formation of photosensitive ZrO2-SiO2 gel films by chemical modification method[J]. Journal of Functional Materials, 2002, 33(2): 207-208,211 |
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| Authors: | ZHAO Gui rong ZHAO Gao yang |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | sol gel process chemical modification fine patterning optical absorption ZrO 2 SiO 2 thin films |
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