| 新型扫描电镜最佳工作参数的模拟 |
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| 引用本文： | 蒋昌忠.新型扫描电镜最佳工作参数的模拟[J].电子显微学报,2001,20(4):394-395. |
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| 作者姓名： | 蒋昌忠 |
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| 作者单位： | 武汉大学物理科学与技术学院, |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目 (10 0 45 0 0 1,10 0 5 0 0 0 1)，教育部骨干教师基金，武汉大学邵逸周研究基金资助项目 |
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| 摘 要： | 扫描电子显微镜中的背散射电子信号强度与原子序数大小成正比 ,在尝试利用背散射电子信号来获取样品表面的原子序数衬度分布时 ,未经精细抛光样品表面形貌的起伏对背散射率有明显的影响 ,甚至在平均原子序数较小的区域可能会探测到对应较大原子序数的背散射电子信号。为防止这一现象的发生 ,已有一种新型的分析扫描电子显微镜问世1,2 ] ,该电镜具有二级电磁透镜系统 ,经第一级透镜初聚的电子束再经物镜聚焦到样品表面 ,背散射电子的探测系统位于两透镜之间 ,背散射电子和入射电子经一弱磁场分开后进入探测系统 ,因此该电镜可探测 1 80°左…
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| 关 键 词： | 扫描电镜 最佳工作参数 背散射电子信号 原子序数 背散射率 分辨率 衬度 |
Simulation of optimized parameters for the SEM using low loss energy and coaxiabackscattered electrons |
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