| 国家同步辐射实验室的LIGA技术研究及应用 |
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| 引用本文： | 刘刚,田扬超.国家同步辐射实验室的LIGA技术研究及应用[J].机械工程学报,2008,44(11):47-52. |
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| 作者姓名： | 刘刚 田扬超 |
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| 作者单位： | 中国科学技术大学国家同步辐射实验室,合肥,230026;中国科学技术大学国家同步辐射实验室,合肥,230026 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目
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| 摘 要： | LIGA技术是一种可以利用多种材料获得大高宽比微结构的微细加工方法。介绍了LIGA技术的原理和国家同步辐射实验室LIGA试验线站的参数。详细给出NSRL近年来在同步辐射光刻、微电铸和微塑铸等LIGA技术方面的研究进展，同时给出其在微惯性器件和微流体器件等LIGA应用方面的研究进展。分析LIGA技术研究及应用的发展现状以及所遇到的困难，结合同步辐射光刻的特点，提出LIGA应用的一些展望。
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| 关 键 词： | LIGA技术 微塑铸 微流体器件 |
Research and Application of LIGA Process at Nationol Synchrotron Radiation Laboratory |
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| LIU Gang,TIAN Yangchao.Research and Application of LIGA Process at Nationol Synchrotron Radiation Laboratory[J].Chinese Journal of Mechanical Engineering,2008,44(11):47-52. |
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| Authors: | LIU Gang TIAN Yangchao |
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| Affiliation: | National Synchrotron Radiation Laboratory, University of Science & Technology of China |
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| Abstract: | LIGA(Lithographie galvanformung and abformug)process is a micro fabrication method that can use various materials to obtain high aspect ratio microstructures.The principle of LIGA techniques and the parameters o f LIGA experimental station at NSRL are introduced.The recent progresses in the research of LIGA techniques at NSRL,such as synchrotron radiation lithography,mi- cro-electroforming,micro-molding,and the application of LIGA techniques,such as micro-inerial devices and micro-fluidic devices, are prese... |
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| Keywords: | LIGA technique Micro-molding Micro-fluidic devices |
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