| A1掺杂ZnO薄膜的XPS谱及电学性质研究 |
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| 引用本文： | 李丽,方亮,李秋俊,陈希明,董建新,冯世娟. A1掺杂ZnO薄膜的XPS谱及电学性质研究[J]. 微细加工技术, 2008, 0(1) |
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| 作者姓名： | 李丽 方亮 李秋俊 陈希明 董建新 冯世娟 |
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| 基金项目： | 重庆市科技攻关项目 , 重庆邮电大学校科研和教改项目 |
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| 摘 要： | 采用直流反应磁控溅射法在玻璃基底上用Zn(99.99%)掺杂Al(1.5%)靶制备出高质量的Al掺杂的ZnO(AZO)薄膜.用X射线光电子能谱仪对退火处理后的薄膜进行了成分和元素的价态分析,并用Van der Pauw方法对样品的电学特性进行了测量.实验结果表明,Zn和Al元素都以氧化态的形式存在,O元素主要是以晶格氧和吸附氧的形式存在.AZO薄膜的电学性质受退火温度和氧氩比的影响较大.随着退火温度的升高,电阻率减小,载流子浓度和迁移率增大.随着氧氩比的增大,电阻率增大,迁移率减小.因此可得到用直流反应磁控溅射法制备AZO薄膜的最佳氧氩比和退火温度分别为0.3/27和400 ℃,在此条件下制备出的薄膜电阻率可低至10-4 Ω·cm,载流子浓度可达1020 cm-3.
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| 关 键 词： | AZO薄膜 XPS谱 电学性质 掺杂 薄膜电阻率 电学性质 研究 ZnO Thin Films Doped Electrical Properties Spectra Spectroscopy Photoelectron 在此条件下 最佳 法制 直流反应磁控溅射 迁移率 载流子浓度 影响 退火温度 吸附氧 晶格氧 |
Study on X-ray Photoelectron Spectroscopy Spectra and Electrical Properties of Al Doped ZnO Thin Films |
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| LI Li,FANG Liang,LI Qiu-jun,CHEN Xi-ming,DONG Jian-xin,FENG Shi-juan. Study on X-ray Photoelectron Spectroscopy Spectra and Electrical Properties of Al Doped ZnO Thin Films[J]. Microfabrication Technology, 2008, 0(1) |
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| Authors: | LI Li FANG Liang LI Qiu-jun CHEN Xi-ming DONG Jian-xin FENG Shi-juan |
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