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| 欧司朗成功在硅衬底上制程GaN LED芯片 | |
| 作者姓名： | 吴琪乐 |
| 摘 要： | 正欧司朗光电半导体公司的研究人员经过研究,现已成功在硅衬底上生产出了氮化镓LED芯片,取代了目前普遍使用的较为昂贵的蓝宝石衬底。这种新的制造技术有望大幅降低发光二极管(LED)的生产成本,进一步推动其普及进程。硅是一种标准半导体材料,作为LED衬底具有尺寸大、成本低、易加工、导电好等优异性能。但技术难点在于硅与氮化镓的热膨胀系数不同,在制造过程 |
| 关 键 词： | 硅衬底 芯片 蓝宝石衬底 研究人员 成功 氮化嫁 薄膜 新技术 制程 晶圆 |
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