一种基于激光散射测量的高洁净表面微尘检测系统

光散射法测量是利用几何光学原理测量镜片表面的非接触测量方法,光束以一定角度照射到镜片表面后,由于表面非理想光滑,发生透射、反射、和散射现象,散射光的强弱则反映出镜片表面的加工精度、损伤或微尘。本文针对高洁净度镜片表面微尘检测设计一套检测方案,其中涉及激光器选型、低噪声光电前放设计、锁相放大电路设计等。