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| 清洗在集成电路封装过程中对静态电源电流(IDDSB)的影响 | |
| 引用本文： | 于祥苓,戴俊夫.清洗在集成电路封装过程中对静态电源电流(IDDSB)的影响[J].电子制作．电脑维护与应用,2015(10). |
| 作者姓名： | 于祥苓 戴俊夫 |
| 作者单位： | 东北微电子研究所 辽宁沈阳 110032 |
| 摘 要： | 介绍了浸泡清洗、超声清洗和等离子清洗三种主要封装清洗的主要工作机理,及其在封装过程中的重要作用,通过对清洗前后集成电路静态电源电流变化情况的对比分析,研究不同的清洗方法对集成电路静态电源电流(IDDSB)的影响,为提高封装产品性能和封装质量提供数据支撑及理论依据,其对于产品可靠性的提升有着重要的意义。 |
| 关 键 词： | 超声波清洗 等离子清洗 静态电源电流 |
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