| 类金刚石薄膜的Raman光谱分析及红外光谱特性 |
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| 引用本文： | 马志斌,邬钦崇,舒兴胜. 类金刚石薄膜的Raman光谱分析及红外光谱特性[J]. 真空电子技术, 2000, 0(5): 1-4 |
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| 作者姓名： | 马志斌 邬钦崇 舒兴胜 |
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| 作者单位： | 中国科学院等离子体研究所!安徽合肥230031(马志斌，邬钦崇，舒兴胜)，武汉化工学院材料工程系!湖北武汉430073(汪建华，王传新) |
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| 摘 要： | 用酒精和氢气的混合气体为工作气体 ,在不同的酒精浓度下 (1 0 % ,1 5% ,2 0 % )下利用微波等离子体化学气相沉积法在较低温度下 (450～ 50 0℃ )以单晶硅为衬底制备出类金刚石薄膜样品。 Raman光谱分析了酒精浓度对薄膜中金刚石成份的含量的影响。红外光谱分析表明薄膜的红外光透过率与薄膜的表面形貌、薄膜结构有关。酒精浓度为 1 0 %时得到的金刚石薄膜的红外光透过率最高 ,达到 62～ 72 % ,同时透过率曲线因薄膜干涉而引起的振荡也最为显著。
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| 关 键 词： | 化学气体沉积 类金刚石薄膜 红外光谱 |
The Raman and Infrared Spectra of Diamond Like Carbon Films |
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| MA Zhi bin ,WU Qin chong ,SHU Xing sheng ,WANG Jian hua ,WANG Chuan xin. The Raman and Infrared Spectra of Diamond Like Carbon Films[J]. Vacuum Electronics, 2000, 0(5): 1-4 |
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| Authors: | MA Zhi bin WU Qin chong SHU Xing sheng WANG Jian hua WANG Chuan xin |
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| Affiliation: | MA Zhi bin 1,WU Qin chong 1,SHU Xing sheng 1,WANG Jian hua 2,WANG Chuan xin 2 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Chemical vapor deposition Diamond like carbon film Infrared spectrum |
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