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摘 要:
日本第十六届半导体专业讨论会 一九七八年日本半导体专业讨论会(主席是东北大学教授西泽润一)于8月19日──22日在山形县藏王温泉召开。会议由“半导体研究振兴会”等单位主持。至1978年已是第十六届了。参加这次讨论会的有64名代表(讲演者除外)。 本届讨论会的主题是“高性能、高集成度集成电路的半导体工艺”,也就是所谓超大规模集成电路工艺。下面介绍本届讨论会中颇感兴趣的一些议题。
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