| CdS薄膜的真空热蒸发制备及在CIGS薄膜太阳电池中的应用 |
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| 引用本文： | 曹敏,门传玲,邓闯,田子傲,安正华.CdS薄膜的真空热蒸发制备及在CIGS薄膜太阳电池中的应用[J].半导体光电,2014,35(2):253-257,262. |
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| 作者姓名： | 曹敏 门传玲 邓闯 田子傲 安正华 |
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| 作者单位： | 上海理工大学 能源与动力工程学院, 上海 200093;上海理工大学 能源与动力工程学院, 上海 200093;上海理工大学 能源与动力工程学院, 上海 200093;复旦大学 物理系 表面物理国家重点实验室, 上海 200433;复旦大学 物理系 表面物理国家重点实验室, 上海 200433 |
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| 基金项目： | 上海市自然科学基金项目(13ZR1428200). |
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| 摘 要： | 采用真空热蒸发(VTE)的方法制备了CdS多晶薄膜,研究了不同衬底温度对其微观结构与光电性能的影响。结果显示,不同衬底温度下制备的CdS薄膜均属于六方相多晶结构且具有(002)择优取向;随着衬底温度的升高,(002)特征衍射峰强度增加,半高宽变小,相应薄膜结晶度增大;由CdS薄膜的透射光谱可知,在500~1 000nm波段平均透过率均超过80%,光学带隙随着衬底温度的升高而增大(2.44~2.56eV),表明真空热蒸发方法制备的CdS薄膜可以作为CIGS薄膜太阳电池的缓冲层。将真空热蒸发法制备CdS薄膜与磁控溅射法制备CIGS薄膜太阳电池相结合,在同一真空室内得到了CIGS薄膜太阳电池器件,为CIGS薄膜太阳电池的工业化推广提供了新途径。
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| 关 键 词： | CdS薄膜 真空热蒸发 CIGS薄膜太阳电池 化学水浴 磁控溅射 |
| 收稿时间： | 2013/7/15 |
Preparation of CdS Thin Films by Vacuum Thermal Evaporation and Their Applications in CIGS Thin Film Solar Cells |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | CdS films vacuum thermal evaporation CIGS thin film solar cell chemical bath deposition magnetron sputtering |
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