复合表面形貌测量中通道串扰和色差消除方法

为实现漫反射表面和镜面复合表面的快速测量，基于条纹投影和条纹反射的复合表面测量系统通过相机的多颜色通道快速获得绝对相位。针对复合表面形貌测量中相机、投影仪、显示屏所引入颜色通道间的串扰和色差，研究了基于矩阵的串扰消除方法和绝对相位对应像素偏差的色差消除方法。基于串扰矩阵，分别建立投影仪和显示屏的串扰矩阵，完成颜色通道间的串扰消除。通过彩色正交条纹获得各颜色通道水平和竖直方向的绝对相位，建立颜色通道间相位差和像素偏差之间的关系，实现每一像素点的像素偏差校正，消除色差的影响。实验结果证明，所提色差和串扰消除方法使复合台阶的测量均方根误差从0.479 mm降至0.030 mm，提高了测量效率和测量精度。