| 飞秒激光加工微纳光学器件 |
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| 引用本文： | 董彬,张娟,王达伟,张亦元,张乐然,李瑞,辛晨,刘顺利,张子航,吴昊,蒋绍军,朱苏皖,刘炳瑞,吴东.飞秒激光加工微纳光学器件[J].光电工程,2023(3):80-105. |
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| 作者姓名： | 董彬 张娟 王达伟 张亦元 张乐然 李瑞 辛晨 刘顺利 张子航 吴昊 蒋绍军 朱苏皖 刘炳瑞 吴东 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学技术大学精密机械与精密仪器系中国科学院材料力学行为与设计重点实验室安徽省高等学校精密科学仪器重点实验室;2. 中国科学技术大学第一附属医院生命科学与医学部 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(61927814,52122511,91963127,52075516,U20A20290,52175396)；;安徽省重大科技专项(201903a05020005)~~； |
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| 摘 要： | 光学器件正在向着小型化、集成化以及柔性可变形等方向发展，基于集成微纳光学器件的光学系统以其较低的功耗、快速的响应时间以及高信息容量等优势脱颖而出。然而目前的高精度微纳加工手段如聚焦离子束(focused ion beam,FIB)刻蚀、半导体光刻等工艺复杂，且缺乏灵活性。飞秒激光作为一种非接触、高精度、高脉冲强度的“冷”加工工具在微纳加工方面受到格外青睐。本文首先阐述了飞秒激光加工微纳光学器件的背景及相关机理，然后讨论了提高飞秒激光加工分辨率的各种方法，接着综述了基于飞秒激光的多种先进加工手段，其后总结了近年来飞秒激光加工微透镜、光栅、光波导以及光子晶体方面的代表性研究进展。最后，本文概括了飞秒激光加工微纳光学器件研究领域所面临的挑战以及未来发展方向。
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| 关 键 词： | 飞秒激光 高精度 微纳结构 光学器件 |
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