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| 设备与技术新闻集锦 | |
| 摘 要： | 设备与技术新闻集锦ＮＩＫＯＮ公司推出新一代远紫外步进机日本ＮＩＫＯＮ公司最近推出一种适用于６４Ｍｂ～２５６ＭｂＤＲＡＭ器件批量生产的ＫｒＦ准分子激光步进机ＮＳＲ－２２０５ＥＸ１４Ｃ，它适用于下一代逻辑和存储器集成电路的生产。该机采用一种最新开发的成像... |
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