| 电磁力驱动的微夹持技术 |
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| 引用本文： | 席文明,钟辉.电磁力驱动的微夹持技术[J].纳米技术与精密工程,2008,6(3):195-198. |
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| 作者姓名： | 席文明 钟辉 |
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| 作者单位： | 厦门大学机电工程系,厦门,361005;厦门大学萨本栋微机电中心,厦门,361005 |
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| 基金项目： | 厦门大学新世纪优秀人才计划 |
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| 摘 要： | 在生物操作和微装配中,需要微力传感器控制操作过程,以保证操作的有效性.为此,设计了集电磁力驱动和压电传感于一体的夹钳,利用螺线管与小永磁体产生的排斥力驱动夹钳闭合,通过改变螺线管电流的大小来控制夹钳夹持力.夹钳夹持物体时,聚偏二氟乙烯(PVDF)产生压电效应输出电压,电压的数值确定了夹持力.利用共振频率方法测量PVDF膜片刚度,结合显微视觉系统测量膜片变形,可以确定夹钳受到的力,从而获得夹钳受力与输出电压的关系.实验结果表明,采用共振频率方法精确测量出的膜片刚度为110.7μN/μm,夹钳力传感分辨率为1.1mN.
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| 关 键 词： | PVDF膜片 微力传感夹钳 共振频率 膜片刚度 |
Micro-Tweezer Technology Driven by Electromagnetic Force |
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| XI Wen-ming,ZHONG Hui.Micro-Tweezer Technology Driven by Electromagnetic Force[J].Nanotechnology and Precision Engineering,2008,6(3):195-198. |
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| Authors: | XI Wen-ming ZHONG Hui |
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