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| 等离子法制备氮化铝粉末原料的研究 | |
| 引用本文： | 禹争光,扬邦朝. 等离子法制备氮化铝粉末原料的研究[J]. 硅酸盐学报, 2002, 30(Z1): 96-97 |
| 作者姓名： | 禹争光 扬邦朝 |
| 作者单位： | 电子科技大学微电子与固体电子学院,成都,610054 |
| 摘 要： | 以金属铝粉和氮气为原料通过直流电弧等离子法制备氮化铝粉末, 经羧酸与盐酸混酸在常温超声条件化学纯化后, X衍射分析表明制备出纯度高的氮化铝粉末;样品SEM照片显示处理后AlN粉末粒度为2～5 μm存有少量氮化铝晶须. |
| 关 键 词： | 氮化铝 直流电弧等离子 化学纯化 氮化铝晶须 |
| 文章编号： | 0454-5648(2002)S0-0096-02 |
| 修稿时间： | 2002-03-11 |
STUDY ON PREPARATION of AlN POWDER by DC ARC PLASMA |
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| Abstract: | |
| Keywords: | |
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