| 磁控溅射法沉积纳米Cu薄膜的性能研究 |
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| 引用本文： | 郭俊婷,徐阳.磁控溅射法沉积纳米Cu薄膜的性能研究[J].功能材料,2015(5):5123-5127. |
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| 作者姓名： | 郭俊婷 徐阳 |
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| 作者单位： | 江南大学 生态纺织教育部重点实验室,江苏 无锡,214122 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目，2012江苏科技支持计划(工业)资助项目 |
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| 摘 要： | 采用卷绕型磁控溅射设备在涤纶(PET)针刺毡表面沉积了纳米结构Cu薄膜,利用X射线衍射仪(XRD)对薄膜的组分和结晶状态进行了分析,用原子力显微镜(AFM)分析了不同溅射工艺参数对纳米Cu薄膜微观结构和颗粒直径的影响,并较为系统地分析了溅射功率、工作气压和沉积时间对镀铜PET针刺毡导电性能的影响。结果表明,增大溅射功率,镀铜PET针刺毡导电性和Cu膜均匀性变好,但应控制在6kW以下;随工作气压的增大,薄膜方块电阻先减小后增大,薄膜厚度更加均匀;随着沉积时间的延长,Cu粒子的直径增大,Cu膜的导电性和均匀性明显变好。
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| 关 键 词： | 卷绕型磁控溅射 纳米结构Cu薄膜 X射线衍射仪 原子力显微镜(AFM) 导电性能 |
Study on the performance of nano-copper film deposited by magnetron sputtering |
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| GUO Jun-ting,XU Yang.Study on the performance of nano-copper film deposited by magnetron sputtering[J].Journal of Functional Materials,2015(5):5123-5127. |
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| Authors: | GUO Jun-ting XU Yang |
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| Affiliation: | GUO Jun-ting;XU Yang;Key Laboratory of Science and Technology of Eco-Textile,Ministry of Education,Southern Yangtze University; |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | winding type magnetron sputtering nano-copper film X-ray diffractometer (XRD) atomic force mi-croscope (AFM) conductivity |
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