| 微谐振器结构性能的有限元分析 |
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| 引用本文： | 孙科,宫海波,亓盛元. 微谐振器结构性能的有限元分析[J]. 计算机仿真, 2013, 30(2) |
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| 作者姓名： | 孙科 宫海波 亓盛元 |
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| 作者单位： | 中国飞行试验研究院,陕西西安,710089 |
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| 摘 要： | 微谐振器是试飞测试系统的重要组成部件,微谐振器的性能影响到试飞测试系统的精确度.为了提高微谐振器的性能,在传统结构的基础上,提出改变微谐振器中折叠梁、驱动梳齿等结构的尺寸来改善其性能.运用有限元法对不同结构尺寸下的微谐振器进行模态、品质因子分析.仿真结果表明,横向微谐振器的一阶模态频率的大小很大程度上受到折叠梁尺寸的影响；静电梳齿的尺寸设计中,梳齿的宽度是影响驱动力和品质的一个关键因素.仿真结果表明,对提高微谐振器的性能具有一定的指导意义.
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| 关 键 词： | 微谐振器 折叠梁 有限元 |
Finite Element Analysis of Oscillating Microresonators |
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| SUN Ke , GONG Hai-bo , QI Sheng-yuan. Finite Element Analysis of Oscillating Microresonators[J]. Computer Simulation, 2013, 30(2) |
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| Authors: | SUN Ke GONG Hai-bo QI Sheng-yuan |
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