| 网络状氮化硼纳米棒的生长研究 |
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| 引用本文： | 卢晓敏,汪雷,杨德仁. 网络状氮化硼纳米棒的生长研究[J]. 真空科学与技术学报, 2004, 24(6): 445-447 |
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| 作者姓名： | 卢晓敏 汪雷 杨德仁 |
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| 作者单位： | 浙江大学硅材料国家重点实验室,杭州,310027 |
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| 摘 要： | 利用等离子体增强化学气相沉积(Plasma Enhanced ChemicalVapor Deposition,PECVD)法在单晶硅片上生长了氮化硼(BN)材料.扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscopy,SEM)图,能量分散谱(Energy Dispersive Spectrum,EDS)和傅里叶红外光谱(Fourier transform infrared spectroscopy,FTIR)表明,在一定的生长条件下BN薄膜呈现由纳米棒搭构而成的网络状结构.纳米棒的直径在几十到几百纳米范围,长度为微米量级.对这种特殊形貌的生长机理进行了探讨.
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| 关 键 词： | 氮化硼 纳米棒 |
| 文章编号： | 1672-7126(2004)06-0445-03 |
| 修稿时间： | 2004-01-30 |
Growth of Net-Shaped Boron Nitride Nanorods |
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| Lu Xiaomin,Wang Lei and Yang Deren. Growth of Net-Shaped Boron Nitride Nanorods[J]. JOurnal of Vacuum Science and Technology, 2004, 24(6): 445-447 |
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| Authors: | Lu Xiaomin Wang Lei Yang Deren |
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| Affiliation: | Lu Xiaomin,Wang Lei and Yang Deren* |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | PECVD |
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