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| 体硅MOEMS阵列光开关的制作 | |
| 引用本文： | 董玮,梁静秋,刘彩霞,张歆东,贾翠萍,周敬然,王立军,陈维友.体硅MOEMS阵列光开关的制作[J].半导体技术,2006,31(8):573-575,587. |
| 作者姓名： | 董玮 梁静秋 刘彩霞 张歆东 贾翠萍 周敬然 王立军 陈维友 |
| 作者单位： | 1. 中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,长春,130033;吉林大学,电子科学与工程学院,集成光电子学国家重点联合实验室,长春,130012 2. 中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,长春,130033 3. 吉林大学,电子科学与工程学院,集成光电子学国家重点联合实验室,长春,130012 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金 , 吉林省科技发展计划 |
| 摘 要： | 设计了一种新型结构的MOEMS阵列光开关,开关由上电极阵列、倾斜下电极阵列和准直光纤阵列三部分组成.上电极阵列利用(110)硅片制作,其中包括反射镜阵列和扭臂驱动结构的上电极阵列.具有集成性好,制作工艺简单,微反射镜的表面平整垂直,各单元的微镜面平行,反射镜面的尺寸较大等优点.对光开关的参数进行了测试,指出了体硅MOEMS阵列光开关制作过程中存在的问题. |
| 关 键 词： | 光开关阵列 微光电子机械系统 微反射镜 倾斜下电极 体硅 MOEMS 阵列光开关 制作过程 Optical Switch Array Silicon Bulk 问题 存在 测试 参数 尺寸 反射镜面 单元 表面 微反射镜 制作工艺 集成性 驱动结构 硅片 |
| 文章编号： | 1003-353X（2006）08-0573-03 |
| 收稿时间： | 2006-03-21 |
| 修稿时间： | 2006-03-21 |
Fabrication of the Bulk Silicon MOEMS Optical Switch Array |
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| DONG Wei,LIANG Jing-qiu,LIU Cai-xia,ZHANG Xin-dong,JIA Cui-ping,ZHOU Jing-ran,WANG Li-jun,CHEN Wei-you.Fabrication of the Bulk Silicon MOEMS Optical Switch Array[J].Semiconductor Technology,2006,31(8):573-575,587. | |
| Authors: | DONG Wei LIANG Jing-qiu LIU Cai-xia ZHANG Xin-dong JIA Cui-ping ZHOU Jing-ran WANG Li-jun CHEN Wei-you |
| Abstract: | A novel MOEMS optical switch array was proposed, including upper electrode array, counter electrode array and collimation optical fibers array. The upper electrode array was fabricated on (110) silicon wafer, including reflective mirror array and upper electrode of torsion beam actuator. The optical switches have many advantages, such as simple process, smooth and vertical surfaces of reflective micro mirrors, parallel reflective micro mirrors on every unit, large dimension of reflective micro mirror. The parameters of optical switches were tested. The drawback of bulk silicon MOEMS optical switches was indicated. |
| Keywords: | optical switch array MOEMS reflective micro mirror slant counter electrode |
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