扫描电子显微镜在铝工业中的应用

一、仪器的基本结构与性能 TSM—35C扫描电子显微镜结构示意图如图1。灯丝电流加热电子枪的灯丝,产生热电子发射。热电子受阳极高压作用形成高速束流,经会聚镜和物透镜聚焦,再经扫描线圈、消象散器和动态聚焦线圈的调制,以一定的能量、强度、斑点直径和方向轰击试样某预定位置。