| 脉冲电镀纳米金工艺分析 |
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| 引用本文： | 谷城,张伟风,王珊. 脉冲电镀纳米金工艺分析[J]. 电镀与环保, 2012, 32(3): 19-21 |
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| 作者姓名： | 谷城 张伟风 王珊 |
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| 作者单位： | 河南大学物理与电子学院,河南开封,475004 |
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| 摘 要： | 电镀金工艺在当今半导体微纳加工领域中的应用越来越广泛,然而,传统的电镀金工艺存在许多弊端。试图从理论分析入手,寻找一种较好的脉冲电镀金工艺。重点分析了镀层厚度和金微粒大小,并通过实验对理论分析结果进行验证。实验结果表明:理论分析结果可以较好地被验证,对具体工艺有指导意义。
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| 关 键 词： | 脉冲电镀 理论分析 实验验证 |
An Analysis of Pulse Nano Gold Electroplating Process |
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| GU Cheng , ZHANG Wei-feng , WANG Shan. An Analysis of Pulse Nano Gold Electroplating Process[J]. Electroplating & Pollution Control, 2012, 32(3): 19-21 |
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| Authors: | GU Cheng ZHANG Wei-feng WANG Shan |
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| Affiliation: | (College of Physics and Electronics,Henan University,Kaifeng 475004,China) |
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