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| DJT—800型太阳能集热管磁控溅射镀膜机研制成功 | |
| 引用本文： | 徐宏录.DJT—800型太阳能集热管磁控溅射镀膜机研制成功[J].真空,1984(4). |
| 作者姓名： | 徐宏录 |
| 作者单位： | 机械工业部沈阳真空技术研究所科研办公室 |
| 摘 要： | 机械工业部沈阳真空技术研究所为沈阳市玻璃计器厂研制的太阳能集热管磁控溅射镀膜机,经过一年的工业运行,性能良好。最近通过了技术鉴定。 DJT—800型太阳能集热管磁控溅射镀膜机是生产太阳能集热管的专用设备,适用于镀制太阳能集热管选择性吸收表面的光学薄膜。 太阳能集热管的热效率,主要取决于选择性吸收膜层的质量。目前,我国均采用化学电镀法镀制膜层,这种方法存在着工艺不够稳定,废品率高,膜层质量差,原材料消耗大,成本高,污染环境,危害工人健康等缺点。而应用磁控溅射镀膜机镀制太阳能集热管选择性吸收膜层,彻底实现了工艺革新,完… |
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