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室温直流反应磁控溅射制备透明导电In2O3:Mo薄膜
引用本文:缪维娜,李喜峰,张群,黄丽,章壮健,张莉,严学俭.室温直流反应磁控溅射制备透明导电In2O3:Mo薄膜[J].真空科学与技术学报,2005,25(4):301-305.
作者姓名:缪维娜  李喜峰  张群  黄丽  章壮健  张莉  严学俭
作者单位:复旦大学材料科学系,上海,200433
摘    要:在室温条件下采用直流反应磁控溅射法制备了新型透明导电In2O3:Mo薄膜.研究了溅射压强中氧气百分含量P(O2)]为8.0%~18.0%时对薄膜光电特性以及表面形貌结构的影响.结果表明,薄膜的光电性能对溅射压强中P(O2)非常敏感.分析显示P(O2)决定了薄膜中的氧空位含量和载流子浓度,从而影响了薄膜的光电特性.原子力显微镜观察表明,适量的P(O2)条件下可以获得平均粗糙度为0.3 nm、颗粒均匀、表面平整的薄膜.室温制备的IMO薄膜在可见光区域的平均透射率(含玻璃基底)高达82.1%,电阻率低至5.9×10-4 Ω·cm.

关 键 词:透明导电氧化物  In2O3:Mo薄膜  直流反应磁控溅射法  室温
文章编号:1672-7126(2005)04-0301-05
收稿时间:2005-01-25
修稿时间:2005年1月25日

Growth of In2O3:Mo Thin Films by DC Reactive Magnetron Sputtering at Room Temperature
Miao Weina,Li Xifeng,Zhang Qun,Huang Li,Zhang Zhuangjian,Zhang Li,Yan Xuejian.Growth of In2O3:Mo Thin Films by DC Reactive Magnetron Sputtering at Room Temperature[J].JOurnal of Vacuum Science and Technology,2005,25(4):301-305.
Authors:Miao Weina  Li Xifeng  Zhang Qun  Huang Li  Zhang Zhuangjian  Zhang Li  Yan Xuejian
Abstract:
Keywords:Transparent conductive oxide  Molybdenum-doped indium oxide films  DC reactive magnetron sputtering  Room temperature
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