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杂志ISSN号
SiPIN-^6LiF-SiPIN中子能谱探测器的研制
作者姓名:
张万昌
摘 要:
本工作主要研究高分辨SiPIN探测器结构设计、工艺及封装,研究在SiPIN表面制备^6Li薄膜工艺及与探测器匹配的低噪声前置放大器。
关 键 词:
PIN探测器
中子能谱
薄膜工艺
前置放大器
结构设计
^6Li
表面制备
高分辨
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