| 微型传感器及纳米传感器 |
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| 引用本文： | 武俊齐. 微型传感器及纳米传感器[J]. 微纳电子技术, 1998, 0(3) |
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| 作者姓名： | 武俊齐 |
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| 作者单位： | 电子工业部第二十四研究所 |
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| 摘 要： | 综述了微型传感器及纳米传感器的发展现状，叙述了微型传感器技术的发展趋势及其关键技术，并介绍了微型传感器技术在军事领域中的应用情况。
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| 关 键 词： | 微型传感器 纳米传感器 微机械加工技术 纳米技术 |
Microsensor and Nanosensor |
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| Wu Junqi. Microsensor and Nanosensor[J]. Micronanoelectronic Technology, 1998, 0(3) |
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| Authors: | Wu Junqi |
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| Abstract: | This paper reviews the recent development of microsensor and nanosensor.The trend of microsensor technologies and the key techniques are described.The military applications of microsensor technologies are also given. |
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| Keywords: | Microsensor Nanosensor Micromachined technology Nanotechnology |
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