| FFU送风方式在净化空调系统中的应用 |
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| 引用本文： | 汪小霞.FFU送风方式在净化空调系统中的应用[J].能源研究与利用,2005(6):40-42. |
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| 作者姓名： | 汪小霞 |
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| 作者单位： | 东南大学、中国电子工程设计院,江苏,南京,210096 |
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| 摘 要： | 介绍了某半导体制造项目净化空调系统中FFU送风方式，并与传统集中送风方式相比，分析其优缺点。该送风方式已在微电子工业洁净厂房得到越来越多的应用。
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| 关 键 词： | 洁净室 集中送风 FFU 过滤器 |
| 文章编号： | 1001-5523（2005）06-0040-03 |
| 收稿时间： | 2005-10-16 |
| 修稿时间： | 2005-10-16 |
Application of FFU ventilating mode in purifying air-conditioning system |
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| WANG Xiao-xia.Application of FFU ventilating mode in purifying air-conditioning system[J].Energy Research and Utilization,2005(6):40-42. |
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| Authors: | WANG Xiao-xia |
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| Affiliation: | WANG Xiao-xia |
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| Abstract: | The paper introduced the application of FFU in a clean air conditioning system for semiconductor manufacture item ,which was compared with the mode of central air supply,finally some advantages and disadvantages had been analyzed. |
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| Keywords: | clean room central air supply FFU filter |
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