| 基于微纳米尺度光热膨胀的微型光热驱动器研究 |
| |
| 引用本文： | 刘超,张冬仙,章海军.基于微纳米尺度光热膨胀的微型光热驱动器研究[J].光电子．激光,2008,19(8). |
| |
| 作者姓名： | 刘超 张冬仙 章海军 |
| |
| 作者单位： | 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江,杭州,310027;浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江,杭州,310027;浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江,杭州,310027 |
| |
| 基金项目： | 国家“863”计划资助项目(2006AA04Z237) |
| |
| 摘 要： | 用准分子加工系统制备了长度1mm的微型光热驱动器，用红光半导体激光（650nm）作为驱动源进行了驱动实验。结果表明，直接用激光束驱动可产生微米级偏转，激光束聚焦质量无严格限制，激光束在膨胀臂上的照射位置对偏转量不会造成明显影响。偏转量可调，当激光功率从0mW增大到10mW时，微型光热驱动器的偏转量可从0μm增大到14．33μm。本方法简单易行，可独立驱动运作，易于小型化，真正实现无线遥控操作。
|
| 关 键 词： | 光热膨胀 激光 微驱动器 偏转 |
Study of new photothermal microactuator based on micro/nano scale photothermal expansion |
| |
| LIU Chao,ZHANG Dong-xian,ZHANG Hai-jun.Study of new photothermal microactuator based on micro/nano scale photothermal expansion[J].Journal of Optoelectronics·laser,2008,19(8). |
| |
| Authors: | LIU Chao ZHANG Dong-xian ZHANG Hai-jun |
| |
| Affiliation: | LIU Chao,ZHANG Dong-xian,ZHANG Hai-jun(State Key Laboratory of Modern Optical Instruments,Zhejiang University,Hangzhou 310027,China) |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | photothermal expansion laser microactuator deflection |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
|
