| 硬质合金晶粒度对其表面金刚石涂层的影响 |
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| 引用本文： | 花腾宇,夏鑫,马莉,魏秋平,石鹏程.硬质合金晶粒度对其表面金刚石涂层的影响[J].粉末冶金材料科学与工程,2023(2):180-191. |
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| 作者姓名： | 花腾宇 夏鑫 马莉 魏秋平 石鹏程 |
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| 作者单位： | 1. 中南大学粉末冶金国家重点实验室;2. 中南大学材料科学与工程学院;3. 中国科学院西安光学精密机械研究所空间科学微光探测技术研究室;4. 中国科学院大学光电学院 |
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| 基金项目： | “十四五”国家重点研发计划资助项目(2021YFB3701800)；;国家自然科学基金资助项目(52202056、52274370、52071345)；;粉末冶金国家重点实验室自主课题(621022230)与开放课题； |
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| 摘 要： | 采用热丝化学气相沉积法在不同晶粒度(0.4、0.6、1.0和2.0μm)的YG6硬质合金表面沉积硼掺杂金刚石涂层，通过扫描电镜、X射线衍射仪、拉曼光谱仪及洛氏硬度计对金刚石涂层的形貌、结构、成分、结合性能等进行分析，研究硬质合金晶粒度对金刚石涂层生长和结合性能的影响。结果表明，随硬质合金的晶粒度从0.4μm增大到2.0μm，金刚石的晶粒尺寸逐渐增大且均匀性更好，金刚石拉曼峰和石墨拉曼峰的峰强比(ID/IG)从4.74增加到6.53。膜基结合性能与涂层的内应力、金刚石的半峰宽之间都有较好的相关性，均受基体合金晶粒错配度的影响，涂层的内应力还受掺硼的影响。当硬质合金晶粒度为2.0μm时，金刚石涂层的ID/IG比值最大，为6.53；涂层的内应力最小，仅为1.588 GPa；膜基结合性能最优，在600 N压力下达到HF1级。
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| 关 键 词： | 化学气相沉积 金刚石涂层 硬质合金 晶粒度 结合性能 |
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