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| 基于DSP平台判定光学膜厚监控信号极值 | |
| 引用本文： | 马孜,赵汝进,姚远程,肖琦,姚德武,何长涛,袁胜.基于DSP平台判定光学膜厚监控信号极值[J].微计算机信息,2007,23(26):190-192. |
| 作者姓名： | 马孜 赵汝进 姚远程 肖琦 姚德武 何长涛 袁胜 |
| 作者单位： | 1. 西南技术物理研究所,成都,610041 2. 西南科技大学信息工程学院,绵阳,621002 3. 四川大学电子信息学院,成都,610064 |
| 基金项目： | 解放军总装备部预研项目 |
| 摘 要： | 针对光学监控系统（OMS）实际工作中面临监控信号含有噪声分量过大;极值点附近信号不够灵敏两大困难。本文采用基于遗忘因子的自适应卡尔曼滤波（AKF）对光学膜厚监控信号进行去噪处理;并采用基于电压补偿和设置差分微小阈值δ的极值点判定方法。最后通过DSP开发平台实现上述算法。实验结果表明AKF输出监控信号噪声被明显抑制;最终本文方案判定极值点平均膜厚监控相对误差仅为1.07%。结果 |
| 关 键 词： | 薄膜 自适应卡尔曼滤波 光学膜厚监控 |
| 文章编号： | 1008-0570（2007）09-2-0190-03 |
| 修稿时间： | 2007-08-232007-09-25 |
Determine the peak of optic film thickness monitor signal under Kalman filter based on DSP |
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| MA ZI,ZHAO RUJIN,YAO YUANCHENG,XIAO QI,YAO DEWU,HE CHANGTAO,YUAN SHENG.Determine the peak of optic film thickness monitor signal under Kalman filter based on DSP[J].Control & Automation,2007,23(26):190-192. | |
| Authors: | MA ZI ZHAO RUJIN YAO YUANCHENG XIAO QI YAO DEWU HE CHANGTAO YUAN SHENG |
| Affiliation: | MA ZI ZHAO RUJIN YAO YUANCHENG XIAO QI YAO DEWU HE CHANGTAO YUAN SHENG |
| Abstract: | |
| Keywords: | thin films adaptive Kalman filter(AKF) optic film thickness monitor system |
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