β-Si3N4单晶体的制备 |
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作者姓名: | 许兴利 周龙捷 马利国 代建清 黄勇 谢志鹏 |
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作者单位: | 清华大学新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室,北京 100084 |
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基金项目: | 国家高技术研究发展计划(863计划),863-715-006-0100, |
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摘 要: | 在自增韧Si3N4陶瓷的烧结过程中,添加作为晶种的长柱状β-Si3N4单晶体对于改善陶瓷的强度和韧性是非常有效的。本研究旨在制备出长柱状β-Si3N4单晶体,并对其尺寸和形貌进行有效的控制。通过对87.3wt/α-SiN4 8.3wt/Y2O3 4.4wt/SiO2体系进行气压烧结,经去除掉玻璃相等漂洗工艺后,制得β-Si3N4单晶体,其直径为1-2μm、长度为4-6μm。同时对不同烧结工艺下制得的β-Si3N4单晶体的尺寸和工艺参数的关系进行了研究。
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关 键 词: | 长柱状 β-氮化硅单晶体 氮化硅陶瓷 形貌 晶粒尺寸 |
文章编号: | 1001-4381(2001)02-0017-02 |
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