| 大面积高光学质量金刚石自支撑膜的制备 |
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| 引用本文： | 吕反修,唐伟忠,刘敬明,宋建华,佟玉梅,于文秀,李国华,罗廷礼,张永贵,郭辉,孙振路,何其玉. 大面积高光学质量金刚石自支撑膜的制备[J]. 材料研究学报, 2001, 15(1) |
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| 作者姓名： | 吕反修 唐伟忠 刘敬明 宋建华 佟玉梅 于文秀 李国华 罗廷礼 张永贵 郭辉 孙振路 何其玉 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划) |
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| 摘 要： | 介绍了一种新型的磁控/流体动力学控制的大口径长通道直流电弧等离子体炬,并据此设计建造了100千瓦级高功率DC Arc Plasma Jet CVD金刚石膜沉积系统.讨论了该系统采用的半封闭式气体循环系统的工作原理,以及在气体循环条件下制备大面积高光学质量金刚石自支撑膜的研究结果.
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| 关 键 词： | 直流 电弧等离子 体炬 气体循环 大面积 高光学质量 金刚石自支撑膜 |
PREPARATION OF LARGE AREA HIGH OPTICAL QUALITY FREESTANDING DIAMOND FILMS AT GAS RECYCLING MODE |
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