| 光学薄膜厚度的监控 |
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| 引用本文： | 巨养锋,韩军,黄钉劲,弥谦,刘木兴. 光学薄膜厚度的监控[J]. 西安工业学院学报, 1999, 19(2): 87-90 |
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| 作者姓名： | 巨养锋 韩军 黄钉劲 弥谦 刘木兴 |
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| 作者单位： | 西安工业学院仪器工程系 |
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| 摘 要： | 提出了一种多层１／４波长膜系的薄膜厚度监控方法．利用这种方法可以在监控过程的同时得到膜层的光学常数且具有监控精度高的优点．该方法也可用于非１／４波长膜系的控制
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| 关 键 词： | 监控；薄膜厚度；光学常数 |
| 文章编号： | 1000-5714(1999)02-0087-04 |
| 修稿时间： | 1999-01-14 |
The monitoring control of optical thin-film thickness |
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| JU Yang-feng,HAN Jun,HUANG Ding-jin,MI Qian,LIU Mu-xing. The monitoring control of optical thin-film thickness[J]. Journal of Xi'an Institute of Technology, 1999, 19(2): 87-90 |
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| Authors: | JU Yang-feng HAN Jun HUANG Ding-jin MI Qian LIU Mu-xing |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | monitoring control thin film thickness optical constants |
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