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| 磁控溅射参数变化对铌膜超导特性的影响 | |
| 引用本文： | 陶兰初,樊振军,刘育,李素云.磁控溅射参数变化对铌膜超导特性的影响[J].中国电力教育,2011(15). |
| 作者姓名： | 陶兰初 樊振军 刘育 李素云 |
| 作者单位： | 中国地质大学(北京)物理实验中心,北京,100083 |
| 基金项目： | 中国地质大学(北京)大学生创新性实验项目计划重点项目 |
| 摘 要： | 介绍了磁控溅射镀膜技术和参数变化对Nb膜表面形貌、内部应力、超导特性的影响.探讨了制备高质量铌膜所需的最佳溅射参数. |
| 关 键 词： | 磁控溅射 铌膜 超导特性 |
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