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| 128×128混合式热释电非致冷焦平面探测器列阵铟膜及铟柱制备工艺研究 | |
| 引用本文： | 黄江平, 杨春丽, 黎力, 杨登全, 张丽华, 李玉英. 128×128混合式热释电非致冷焦平面探测器列阵铟膜及铟柱制备工艺研究[J]. 红外技术, 2003, 25(6): 54-58. DOI: 10.3969/j.issn.1001-8891.2003.06.015 |
| 作者姓名： | 黄江平 杨春丽 黎力 杨登全 张丽华 李玉英 |
| 作者单位： | 昆明物理研究所,云南,昆明,650223 |
| 摘 要： | 着重介绍了我们在 |
| 关 键 词： | 焦平面 非制冷探测器 铟膜 铟柱 倒装互连 |
| 文章编号： | 1001-8891(2003)06-0054-05 |
| 修稿时间： | 2003-07-17 |
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