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用流延法生产优质A1_2O_3陶瓷基板
引用本文:
姚晓明.用流延法生产优质A1_2O_3陶瓷基板[J].电子元件与材料,1994(4).
作者姓名:
姚晓明
作者单位:
上海无线电一厂
摘 要:
讨论了流延法生产A12O3陶瓷基板中影响厚度公差、表面粗糙度和产生干燥缺陷的各种因素,提出改进的措施与途径。从而稳定地大批量生产无缺陷的优质A12O3基板。
关 键 词:
流延法,A1_2O_3,陶瓷基板
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