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| 软X射线高反射率多层膜反射镜 | |
| 作者姓名： | 吴秀丽 |
| 摘 要： | 日本松下技术研究所用准分子激光CVD工艺技术实现软X射线聚光用高反射率多层膜反射镜,这种反射镜是在硅基板上由钨(W)和硅(Si)交互沉积的多层膜(W/Si)构成椭圆柱面反射镜(尺寸:55×55mm~2,短半径60mm),(图1).多层膜的各层,在基板纵剖面内的膜厚是不同的.该椭圆形反射镜能把点光源发出的软X射线聚成光束.所发出的两条光线能聚焦成一点. |
| 关 键 词： | 软X射线 高反射率 多层膜 反射镜 准分子激光 |
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