提高溅射离子泵抽速的研究 |
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引用本文: | 蓝增瑞.提高溅射离子泵抽速的研究[J].真空与低温,1991,10(3):1-7. |
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作者姓名: | 蓝增瑞 |
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作者单位: | 上海卫星工程研究所 |
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摘 要: | 按抽气过程推出了溅射离子泵的抽速公式。实验研究了阳极结构、阴极材料对提高抽速的作用。通过离子泵抽氩清洗后抽速提高现象的分析研究.证实了阴极材料表层成分对离子泵抽速有几倍的影响;钛阴极的泵在抽氮气达到稳定值后,阴极表层即盖满 TiN,而泵的正常抽速是离子溅射 TiN 生成的钛原子在阳极表面抽气提供的。研究表明,理想的离子泵阴极材料不仅应当溅射率高,溅射膜有高的吸气性能,而且应对入射的被抽气体原子有足够高的扩散能力。
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关 键 词: | 溅射离子泵 真空泵 抽速 |
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