金属工艺用强流离子注入机靶室

一、引言离子注入技术对金属表面不仅能改善表面磨损、疲劳、腐蚀、氧化等性能,而且具有可观的经济效益。因此,世界上都十分关注并积极开展这方面的研究和应用工作。金属工艺用强流注入机部件中,靶室是一个极其重要的部件。英国哈威尔一台工艺用气体离子注入机,其靶室为φ2.5m×2.5m,注入工件可允重1000kg。 SC-50型金属工艺用注入机能量为50keV,氮离子流强为3—5mA,靶室真空腔容积为φ30cm×50cm,这是国内第一台可供工艺用的注入样机。