| 类金刚石碳膜热稳定性的研究 |
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| 引用本文： | 刘正堂,许念坎.类金刚石碳膜热稳定性的研究[J].西北工业大学学报,1993,11(2):229-232. |
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| 作者姓名： | 刘正堂 许念坎 |
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| 作者单位： | 西北工业大学 副教授(刘正堂，许念坎，耿东生)，西北工业大学 教授(郑修麟) |
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| 摘 要： | 研究了退火对类金刚石碳膜结构和性能的影响.结果表明:低于400℃退火对膜的结构、电阻率、硬度无明显影响;高于400℃退火,由于膜中氢原子的逸出,非晶碳将转变为石墨微晶,从而导致电阻率急剧下降;在400～700℃温度范围退火后,膜的硬度仍无明显变化.
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| 关 键 词： | 薄膜 类金刚石碳膜 热稳定性 |
On Thermostability of Diamondlike Carbon Film |
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| Liu Zhengtang Xu Niankan Geng Dongsheng Zheng Xiulin.On Thermostability of Diamondlike Carbon Film[J].Journal of Northwestern Polytechnical University,1993,11(2):229-232. |
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| Authors: | Liu Zhengtang Xu Niankan Geng Dongsheng Zheng Xiulin |
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| Affiliation: | Department of Materials Science and Engineering Northwestern Polytechnical University |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | fildm diamondlike carbon thermostability |
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