精密加工表面粗糙度测量数据分析评价方法的研究

随着零件制造工艺水平和对零件表面加工质量要求的提高,精密、超精密加工技术被广泛用于制造过程。这种超精密加工或微细加工使零件的加工精度达到了0.3μm以下,表面粗糙度Ra值<0.03μm,从而使以传统目测方法对这样的表面进行检验和评价已无法实现,取而代之的是一种全新的测量方法和分析处理手段。围绕这一课题,研究开发出零件表面检测系统,旨在对超精密加工零件的表面质量进行检测、分析与评价。